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天津中環(huán) RTP-滑動(dòng)式快速退火爐

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座機(jī): 0771-5330368 / 5307368
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摘要

采用紅外燈管加熱,通過(guò)滑動(dòng)爐體實(shí)現(xiàn)快速升降溫。應(yīng)用在半導(dǎo)體、納米技術(shù)、碳纖維、石墨烯生長(zhǎng)等新型材料工藝領(lǐng)域。

產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品描述


產(chǎn)品應(yīng)用:


該系列電爐采用紅外燈管加熱,通過(guò)滑動(dòng)爐體實(shí)現(xiàn)快速升降溫。應(yīng)用在半導(dǎo)體、納米技術(shù)、碳纖維、石墨烯生長(zhǎng)等新型材料工藝領(lǐng)域。


也同樣適用于要求升降溫速度比較快的氣氛燒結(jié)、真空淬火退火及CVD等工藝實(shí)驗(yàn)。


 

產(chǎn)品特點(diǎn):


氣路快速連接法蘭結(jié)構(gòu)采用本公司獨(dú)有的知識(shí)產(chǎn)權(quán)專利設(shè)計(jì),提高操作便捷性;爐體自帶超溫保護(hù)及漏電保護(hù)功能;


合理的氣路支架裝置,避免了氣路總成因自身應(yīng)力而造成的爐管損壞;爐體移動(dòng)自動(dòng)化且有滑動(dòng)限位功能,避免爐體碰撞;風(fēng)冷設(shè)計(jì),使樣品實(shí)現(xiàn)快速降溫。




產(chǎn)品名稱

RTP系列-滑動(dòng)式快速退火爐

產(chǎn)品型號(hào)

RTP-G06123K-H

額定功率

9KW

額定電壓

220AC 50/60Hz

溫度

1000℃

連續(xù)工作

950℃(<1 小時(shí))

加熱區(qū)長(zhǎng)度

250mm

恒溫區(qū)長(zhǎng)度

200mm

加熱元件

紅外燈管

溫度控制

國(guó)產(chǎn)程序控溫系統(tǒng)可編程50段程序控溫;

控制精度

±1℃

石英管尺寸

Φ60/Φ80/Φ100mm

爐管材質(zhì)

石英管

滑動(dòng)距離

300mm

降溫速度

900~200℃的降溫速度:15min 

升溫速度

50oC/S

滑動(dòng)控制

由溫度控制器自動(dòng)控制爐體移動(dòng).  當(dāng)程序完成,爐體按設(shè)定的速度滑動(dòng)。

流量計(jì)

浮子流量計(jì)60-600ml/min

滑軌尺寸

360 x1300x265mm

外形尺寸

360x385x595mm

重量

85Kg

標(biāo)準(zhǔn)配置

氣路總成一套(含真空壓力表)石英管一支、石英堵三個(gè)、鉤子一把、高溫手套一副。



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